Semi auto probe station

• Chuck size: 12inch

• Temperature range(Hotchuck): RT ~ 150℃

• Interface/Spec: B1500A, E5270B/±10A, 220V

• Primary / Secondary wafer mapping 기반 자동 패턴 측정

• Vision 기반 Align mark 인식 및 자동 align

활용 분야